新材料
| 设备名称： | 激光干涉多轴测量系统 |
| 基地名称： | |
| 单位名称： | |
| 分类： | |
| 厂商及型号： | Agilent，5529B |
| 购置时间： | 2008 |
| 国别： | 美利坚合众国 |
| 性能参数 ： | 0.001um |
| 主要功能和用途: | |
| 作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作，并可作为精密工具机或测量仪器的校正工作 | |
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| 设备名称： | 激光干涉多轴测量系统 |
| 基地名称： | |
| 单位名称： | |
| 分类： | |
| 厂商及型号： | Agilent，5529B |
| 购置时间： | 2008 |
| 国别： | 美利坚合众国 |
| 性能参数 ： | 0.001um |
| 主要功能和用途: | |
| 作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作，并可作为精密工具机或测量仪器的校正工作 | |
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