装备制造
| 设备名称： | 扫描探针显微镜 |
| 基地名称： | |
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| 分类： | |
| 厂商及型号： | CSPM4000 |
| 购置时间： | 2006 |
| 国别： | 中华人民共和国 |
| 性能参数 ： | 扫描隧道显微镜(STM)： 横向 0.13nm 垂直 0.01nm（以石墨定标）;原子力显微镜(AFM)： 横向 0.26nm 垂直 0.1nm（以云母定标）; 样品尺寸：≤Φ45mm 样品厚度：≤25mm 扫描范围：标准配置1μm×1μm；20μm ×20μm 图像采样点：2048×2048 最大扫描速率：55000 P/S 进样方式：步进马达控制自动逼近，行程 ≤30mm，精度≤83nm 扫描控制：双16-bit D/A （相当于26位精度） 数据采样：双16-bit A/D （相当于23位精度） |
| 主要功能和用途: | |
| 采用单一的扫描隧道/原子力探头，集成了扫描隧道、原子力、摩擦力、磁力和静电力功能，工作模式包括接触、轻敲和相移成像等方式；具有图形刻蚀模式和矢量扫描模式的纳米加工技术，可以分析试件表面形貌结构 | |
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