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装备制造

设备名称：  激光干涉仪
基地名称：  
单位名称：  
分类：  
厂商及型号：  Agilent 5530
购置时间：  2009
国别：  美利坚合众国
性能参数 ：        ±0.4ppm
主要功能和用途:
      机床直线轴与旋转轴的定位精度测量


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