装备制造
| 设备名称： | 激光干涉仪 |
| 基地名称： | |
| 单位名称： | |
| 分类： | |
| 厂商及型号： | ZYGO GPI-XP/D4 |
| 购置时间： | 2010 |
| 国别： | 美利坚合众国 |
| 性能参数 ： | 精度λ/1000均方根值（2σ） 空间取样分辨率：640x480像素 |
| 主要功能和用途: | |
| 测量光学元件波前畸变、面平行度 | |
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| 设备名称： | 激光干涉仪 |
| 基地名称： | |
| 单位名称： | |
| 分类： | |
| 厂商及型号： | ZYGO GPI-XP/D4 |
| 购置时间： | 2010 |
| 国别： | 美利坚合众国 |
| 性能参数 ： | 精度λ/1000均方根值（2σ） 空间取样分辨率：640x480像素 |
| 主要功能和用途: | |
| 测量光学元件波前畸变、面平行度 | |
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