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新材料
设备名称:
湿法腐蚀台
基地名称:
单位名称:
分类:
厂商及型号:
华林伟业电镀器材公司,HL073028
购置时间:
2007
国别:
中华人民共和国
性能参数 :
220V,150度
主要功能和用途:
用于半导体工艺中对硅片周边进行湿法化学腐蚀形成均匀一致的斜角
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