新材料
| 设备名称： | 超声扫描显微镜 |
| 基地名称： | |
| 单位名称： | |
| 分类： | |
| 厂商及型号： | 德国KSI公司, WINSAM－III |
| 购置时间： | 2004 |
| 国别： | 德意志联邦共和国 |
| 性能参数 ： | 最大分辨率3um |
| 主要功能和用途: | |
| 材料内部大缺陷检测及集成电路内部缺陷分析 | |
 |
|
| 设备名称： | 超声扫描显微镜 |
| 基地名称： | |
| 单位名称： | |
| 分类： | |
| 厂商及型号： | 德国KSI公司, WINSAM－III |
| 购置时间： | 2004 |
| 国别： | 德意志联邦共和国 |
| 性能参数 ： | 最大分辨率3um |
| 主要功能和用途: | |
| 材料内部大缺陷检测及集成电路内部缺陷分析 | |
|
|
